真空丈量是真空技術中的一個重要組成部分。用于丈量真空度的儀器稱為真空計。
真空爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的作業原理如下：
（一）熱偶真空計
熱偶真空計由敏感元件、熱偶規管和丈量儀器組成。熱偶規管與被測真空體系相通，外殼為玻璃管，管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不一起，因為溫差效應，在回路中有熱電勢發生。如加熱絲電壓堅持穩定，則熱偶絲的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏表丈量，表中的毫伏數即反映出真空度的凹凸。為了確保加熱絲的電壓穩定，而接入了穩壓電源。所以丈量儀器是由丈量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓電源兩部分組成。

（二）電離真空計
這種真空計主要用于丈量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按照離發生的辦法不同，利用熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其間，熱陰極電離真空計由熱陰極規管和丈量儀器組成。丈量儀器由規管作業電源、發射電流穩壓器、離子流丈量擴大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空體系相通。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵及和搜集極。搜集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極電正電位。當電離規管通電加熱后，陰極發射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰撞而發生正離子和電子的電離現象。當發射電流一守時，正離子數日與被測氣體壓強成正比。正離子被搜集極搜集后，經丈量電路擴大，可由批示電表讀出所要丈量的真空度（箱式爐）。
（三）復合真空計
通常，對低真空和高真空的丈量不能用一種真空計來完成，而應選用復合真空計，使用較多的是電離與熱偶式復合真空計。它的丈量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計丈量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計丈量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管，別離接在真空體系上，經過旋鈕可別離給兩個規管加熱，并挑選使用。

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